Lentes F-Theta vulgo una cum speculis galvanometricis in systematibus lasericis ad incisionem, sectionem, et signationem adhibentur. Typice distortio F-Theta lentis minus quam 1% servatur ut maculam accuratam in campo plano imaginis producere possit.
Tolerantia Diametri: +0/-0.13mm
Tolerantia Crassitudinis: ±0.25mm
Tolerantia Longitudinis Focalis: ±2%
Variatio Crassitudinis Marginis (VCM): ≤3 arcus min.
Apertura Clara: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Qualitas Superficiei: 40-20 SD
Tegumentum AR: R<0.2% per superficiem @10.6μ